光刻机属于尖端技术装备，能造的国家屈指可数，少之又少，除了大家所熟知的荷兰，还有日本、美国、德国，当然，中国也是能造的！

提到光刻机，许多人都以为只有荷兰的ASML能造出来，其实不然， 能造光刻机的国家还有很多，只不过能造出最先进的光刻机的，目前确实只有荷兰的ASML。所以，当大家都把目光聚焦于最先进的光刻机时，才会出现只有荷兰ASML能造光刻机的这种错觉。

目前世界上能制造光刻机的国家和企业主要有：荷兰的ASML、日本的尼康和佳能、德国的欧泰克和SUSS、美国的ABM, Inc，以及中国的上海微电子装备有限公司（SMEE）、中子科技集团公司第四十五研究所国电、合肥芯硕半导体有限公司、先腾光电科技、无锡影速半导体科技等众多企业。

其中，荷兰的ASML采用13.5nm的光源源码，可以实现7nm，甚至5nm的制程，而且还有进一步提升的空间。而中国最先进的技术是上海微电子装备有限公司量产的是90nm制程光刻机，与世界最先进的技术还有不小的差距！

按照光刻机达到的生产工艺精度，可以将光刻机制造企业分为三个梯队：

而目前全球的光刻机市场几乎被荷兰的ASML、日本尼康和佳能、中国上海微电子设备集团四家公司所垄断，按照技术性能源码，荷兰ASML垄断了高端光刻机市场份额，日本尼康和佳能处于中端但同时竞争中低端市场，而上海微电子只有低端光刻机市场。